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프로덕션명: | 초음파 정밀 스프레이 기계 | 빈도: | 60KHz |
---|---|---|---|
MAX 출력: | 1~15W | 연속 살포량 최대: | 20~1200ml/h/pcs, 확장 가능 |
효과적인 분사 폭: | 2-260mm/개, 확장 가능 | 스프레이 균일성: | ≥95% |
용액의 점성: | ≤30cps | 입력 전압: | 220V±10%/50-60Hz |
강조하다: | 초음파 리토그래피 코팅 시스템,광저항성 초음파 리토그래피 코팅 시스템,반도체 초음파 리토그래피 코팅 시스템 |
반도체 광 저항 초음파 리토그래피 코팅 시스템
설명:
초음파 스프레이는 광 리토그래피 웨이퍼 가공에서 광 저항 코팅을위한 간단하고 경제적이며 재생 가능한 과정입니다.FUNSONIC의 반도체 광 저항 초음파 리토그래피 코팅 시스템은 흐름 속도를 정밀하게 제어하기 위해 고급 층화 기술을 사용합니다., 코팅 속도 및 퇴적량. 저속 스프레이 폼핑은 너무 얇고 균일한 층을 생성하기 위해 정확하고 제어 가능한 패턴으로 분산 스프레이를 정의합니다.
FUNSONIC의 반도체 광 저항 초음파 리토그래피 코팅 시스템은 더 균일한 코팅을 저장하는 장점이 있습니다.특히 높은 측면 비율의 굴곡과 V 모양의 굴곡 구조의 측면 벽 상단에 따라원심 회전으로는 부실의 바닥에 너무 많은 광 저항을 축적하지 않고 옆 벽을 따라 균일한 코팅을 저장할 수 없습니다.
매개 변수
제품 종류 |
초음파 정밀 스프레이 코팅 기계 실험실 데스크톱 유형 FS310 |
지능형 초음파 정밀 코팅 기계 데스크톱 유형 FS620 |
스프레이 노즐 작동 주파수 | 20~200KHz | 20-200KHz (정상적으로 60100110120K를 사용) |
노즐 전력 | 1~15W | 1~15W |
연속 분사 부피 최대 | 00.01-50ml/min | 00.01-50ml/min |
효과적 분사 폭 | 2~100mm | 2~100mm |
스프레이 균일성 | ≥95% | ≥95% |
솔루션 변환율 | ≥95% | ≥95% |
건조 필름 두께 | 20nm-100μm | 20nm-100μm |
용액의 점성 | ≤30cps | ≤30cps |
온도 범위 | 1-60°C | 1-60°C |
원자화 입자 (중위 값) | 10~45μm (디스틸링 물), 노즐의 주파수로 결정됩니다. | 10~45μm (디스틸링 물), 노즐의 주파수로 결정됩니다. |
디버션 압력 최대 | ≤0.10MPA | ≤0.15MPA |
입력 전압 | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
운동 모드 | X + Y 두 축 완전 자동, Z 축 수동 조정 | XYZ 3축, 독립적으로 프로그래밍 |
제어 모드 | 마이크로 컴퓨터 카드, 7인치 터치 스크린 + 버튼 | FUNSONIC 스프레이링 제어 시스템, PLC 제어, 13.3 인치 풀 컬러 터치 스크린 |
제어 내용 | 초음파 분사, 액체 공급, 난방, 초음파 분산 및 기타 시스템 | 초음파 분사, 액체 공급, 난방, 초음파 분산 및 기타 시스템 |
액체 공급 방법 | 정밀 주입 펌프 | 정밀 주입 펌프 |
초음파 분산 시스템 (선택) | 50ml, 40K, 생물학 샘플러 | 20ml 또는 50ml, 40K, 생물학적 품질 샘플러 |
초음파 분산 시스템의 등급 전력 | 200W,10A | 100W |
장점:
1. 다양한 표면 윤곽의 균일한 필름 커버.
2높은 측면 비율의 굴레를 우수한 균일성으로 코팅 할 수 있습니다.
3- 막히지 않는 분자 스프레이
4매우 균일한 단일 미크론 얇은 층을 저장 할 수 있습니다.
5반복성 성숙한 분사 과정.
반도체 광 저항 초음파 리토그래피 코팅 시스템